Molybdenový terč je speciální kovový terč vyrobený z molybdenu, používaný především v high-tech oborech. Molybden, stříbrno-bílý kov, je známý pro svůj vysoký bod tání a dobrou elektrickou a tepelnou vodivost, což mu umožňuje zůstat stabilní v prostředí s vysokou teplotou nebo vysokým tlakem. Molybdenové terče proto hrají důležitou roli ve výrobě polovodičů, technologii nanášení tenkých vrstev, fotovoltaickém průmyslu a lékařských zobrazovacích zařízeních. Molybdenové terče lze vyrábět izostatickým lisováním za tepla (HIP), tavením, chemickou depozicí z plynné fáze (CVD) a fyzikální depozicí z plynné fáze (PVD). Každá metoda má své vlastní vlastnosti a rozsah použití. Zvolte vhodnou technologii přípravy. Závisí na konečném použití požadovaného molybdenového cíle, požadovaném výkonu a ekonomických úvahách.
Lepená měděná podložka nejen zlepšuje cílový výkon, ale také pomáhá snižovat provozní náklady, což je zvláště důležité pro průmyslová odvětví, která spoléhají na dlouhodobé a stabilní procesy nanášení tenkých vrstev. Má následující výhody:
1. Zlepšení účinnosti tepelné vodivosti: Měď má extrémně vysokou tepelnou vodivost (asi 400 W/m·K), která je mnohem vyšší než molybden. Vazba molybdenového terčíku na měděnou nosnou desku může významně zlepšit celkovou účinnost vedení tepla terčem. Během vysokorychlostních potahovacích procesů to pomáhá rychleji odvádět teplo od molybdenového terče, čímž se zabrání přehřátí terče.
2. Snižte tepelné namáhání: Během procesu nanášení může tepelné namáhání cílového materiálu způsobit praskliny a lomy. Vysoká tepelná vodivost měděné nosné desky pomáhá rovnoměrně rozptýlit teplo a snižuje koncentraci tepelného napětí na molybdenovém terči, čímž snižuje poškození způsobené teplem.
3. Prodlužte životnost: Snížením tepelného namáhání a zlepšením tepelné účinnosti může měděná zadní deska výrazně prodloužit životnost molybdenového terče. Tato kombinace pomáhá předcházet předčasnému opotřebení nebo poškození cíle během používání, což vede k méně časté výměně a nižším dlouhodobým nákladům.
4. Zlepšení mechanické stability: Přidání měděné opěrné desky také zvyšuje celkovou mechanickou stabilitu cíle. To je zvláště důležité během vysokorychlostních depozičních procesů, protože to pomáhá udržovat strukturální integritu cíle a snižuje poškození způsobené mechanickými nárazy nebo vibracemi.
5. Silná přizpůsobivost: Tato metoda vazby může upravit tloušťku a tvar měděné základní desky podle různých požadavků aplikace, což poskytuje větší flexibilitu a přizpůsobivost. To umožňuje molybdenovým terčům lépe splňovat požadavky konkrétních depozičních zařízení a procesů.
