Rozprašovací elektroda se týká rozprašovacího zdroje, který je naprašován a nanesen na substrát za vhodných procesních podmínek magnetronovým naprašováním, víceobloukovým iontovým pokovováním nebo jinými typy potahovacího zařízení za účelem vytvoření různých funkčních filmů. Podle složení lze terče rozdělit na terče z čistého kovu, slitinové terče, oxidové terče, silicidní terče atd.; podle tvaru je lze rozdělit na terče rovinné (pravoúhlé terče a terče obloukové) a terče trubkové. . Naprašovací terče jsou široce používány v mnoha oblastech, jako jsou dekorace, nástroje a formy, sklo, elektronická zařízení, polovodiče, magnetický záznam, ploché displeje, solární články atd. Různá pole vyžadují různé materiály terčů.
1. Dekorativní nátěr
Dekorativní nátěr se týká především povrchového nátěru mobilních telefonů, hodinek, brýlí, sanitární keramiky, hardwarových dílů a dalších produktů. Hraje nejen roli při zkrášlování barvy, ale má také odolnost proti opotřebení, odolnost proti korozi a další funkce. Mezi hlavní druhy terčů pro dekorativní nátěry patří: chromový terč, titanový terč, zirkonový terč, niklový terč, wolframový terč, titan-hliníkový terč, terč z nerezové oceli atd.
2. Povlakování zpracovatelských forem nebo nástrojů
Používá se především pro povrchové zpevnění nástrojů a forem, které mohou výrazně zlepšit životnost nástrojů a forem a kvalitu zpracovávaných dílů. V posledních letech, tažené rozvojem leteckého a automobilového průmyslu, zaznamenala technická úroveň a efektivita výroby globálního zpracovatelského průmyslu velký pokrok a poptávka po vysoce výkonných řezných nástrojích a formách se každým dnem zvyšuje. Mezi hlavní typy terčů používaných pro povlakování forem patří: titan-hliníkové terče, chromové terče, titanové terče atd.
3. Skleněný povlak
Aplikace terčových materiálů na sklo spočívá především ve výrobě nízkoradiačního potaženého skla, které využívá principu magnetronového naprašování k naprašování více vrstev tenkých filmů na sklo pro dosažení funkcí úspory energie, regulace světla a dekorace. Mezi hlavní typy terčů patří: stříbrný terč, chromový terč, titanový terč, nikl-chromový terč, křemíko-hliníkový terč, terč z oxidu titanu atd. Další důležitou aplikací terčových materiálů na sklo je příprava zpětných zrcátek automobilů, hlavně chrom terče, hliníkové terče, terče z oxidu titaničitého atd. Vzhledem k tomu, že požadavky na jakost pro automobilová zpětná zrcátka se neustále zvyšují, mnoho společností přešlo z původního procesu pokovování hliníku na proces vakuového chromování.
4. Povlak elektronických zařízení
Povlaky elektronických zařízení se používají hlavně pro tenkovrstvé rezistory a tenkovrstvé kondenzátory. Terčové materiály pro tenkovrstvé rezistory zahrnují NiCr terč, nikl-chromový křemíkový terč (NiCrSi), chromový křemíkový terč (CrSi), tantalový (Ta) terč, nikl-chrom-hliníkový terč (NiCrA1) atd.
5. Povrchová úprava plochého displeje
Rychlý růst poptávky po plochých zobrazovacích zařízeních z přenosných osobních počítačů, televizí, mobilních telefonů atd. značně podpořil vývoj různých typů plochých zobrazovacích zařízení. Mezi jeho typy patří: zobrazovací zařízení s tekutými krystaly (LCD), plazmové zobrazovací zařízení (PDP) atd. Všechny tyto ploché zobrazovací zařízení používají různé typy filmů. Bez technologie tenkého filmu by neexistovaly žádné ploché zobrazovací zařízení. Aby byla zajištěna stejnoměrnost velkoplošných povlaků, zlepšení produktivity a snížení nákladů, stále více se k přípravě těchto povlaků používá technologie naprašování. Mezi hlavní typy terčů používaných pro potahování plochých displejů patří: chromové terče, molybdenové terče, terče z hliníkové slitiny, měděné terče atd.
6. Povlak polovodičů
Rychlý rozvoj informačních technologií vyžaduje, aby integrované obvody byly stále více integrovány. Každé jednotkové zařízení se skládá ze substrátu, izolační vrstvy, dielektrické vrstvy, vodivé vrstvy a ochranné vrstvy. Mezi nimi dielektrická vrstva, vodivá vrstva a dokonce i ochranná vrstva Používá se proces naprašování, takže naprašovací terč je jedním ze základních materiálů pro přípravu integrovaných obvodů. Materiály terčů pro povlakování polovodičů vyžadují vysokou čistotu terče, obecně nad 4N nebo 5N. Mezi hlavní odrůdy patří wolfram-titanové, titanové terče, hliníkové terče a měděné terče.
