Kovové naprašovací terče se používají především v elektronickém a informačním průmyslu, jako jsou integrované obvody, úložiště informací, LCD obrazovky, laserové paměti, elektronická řídicí zařízení atd. Mohou být také široce používány v oblasti povlakování skla, nástroj odolný proti opotřebení zpracovatelský průmysl a vysokoteplotní zpracovatelský průmysl. , špičkové dekorativní potřeby a další průmyslová odvětví. Společnost FANMETAL má dlouholeté zkušenosti s výrobou výrobků z neželezných kovů a disponuje také pokročilým zpracovatelským zařízením. Zákazníkům doma i v zahraničí může poskytnout vysoce kvalitní a cenově výhodné kovové nebo slitinové cílové produkty jako napřniklové terče, chromové terče, molybdenové terče, wolframové terče,Titanové hliníkové rozprašovací terče,atd.
1.Čistota
U všech kovů je čistota jedním z hlavních ukazatelů výkonnosti cílového materiálu. Čistota cílového materiálu má velký vliv na výkon filmu. V závislosti na aktuálním aplikačním zařízení se však také liší požadavky na čistotu cílového materiálu. Například u vysoce přesných elektronických zařízení jsou vyžadovány vysoce čisté povlakové terče.
2. Obsah nečistot
Po sérii cílových procesů jsou hlavními zdroji znečištění pro deponované filmy nečistoty v cílové pevné látce a kyslík a vodní pára v pórech. Protože se jejich použití liší, mají cíle pro různá použití také různé požadavky na různé obsahy nečistot. Například současné terče z čistého hliníku a slitin hliníku používané v polovodičích mají speciální požadavky na obsah alkalických kovů a obsah radioaktivních prvků.
3.Hustota
V procesu technologie terče, aby se zmenšily póry v pevné látce terče a zlepšil se výkon naprašovaného filmu, je obecně požadováno, aby materiál terče měl vyšší hustotu. Protože hlavní charakteristická hustota terče má velký vliv na rychlost rozprašování a ovlivňuje elektrické a optické vlastnosti filmu. Čím vyšší je cílová hustota, tím lepší je výkon filmu.
4. Velikost zrna a distribuce velikosti zrn
Obvykle má cílový materiál polykrystalickou strukturu a velikost zrna se může pohybovat od mikronů do milimetrů. Pro stejný materiál elektrody je rychlost rozprašování elektrody s jemnými zrny rychlejší než u elektrody s hrubými zrny; zatímco terč s menším rozdílem velikosti zrn (rovnoměrné rozložení) bude mít rovnoměrnější rozložení tloušťky filmu naneseného naprašováním.
