Kovové terče se skládají z jednoho kovu nebo kovové slitiny, která byla speciálně zpracována a zušlechtěna tak, aby splňovala požadavky na vysokou čistotu a specifickou mikrostrukturu. Mezi běžné kovové terče patří měď, hliník, stříbro, titan a jejich slitiny. Kovové terče jsou vybírány na základě jejich jedinečných fyzikálních a chemických vlastností, aby se optimalizoval výkon a účinnost procesů, jako je implantace iontů a nanášení tenkých vrstev. Naše společnost může zajistitTitanový Ti naprašovací terč, 99,95% zirkoniové rozprašovací terčea chromové terče a jiné kovové terče, pokud potřebujete, napište nám.
Keramické terče jsou složeny z vysoce čistých nekovových sloučenin, včetně oxidů, silikátů, nitridů a tak dále. Tyto terče se připravují metodami vysokoteplotního slinování za vzniku pevných materiálů se složitými chemickými a fyzikálními vlastnostmi. Jejich unikátní složení jim dává nezastupitelné místo v high-tech aplikacích, zejména ve výrobě polovodičů, optoelektronických materiálů a technologii tenkých vrstev.
1. Náklady a obtížnost přípravy
Příprava keramických terčů je obtížná, a to nejen kvůli požadovanému procesu slinování při vysoké teplotě, ale také kvůli potřebě kontrolovat jejich čistotu a mikrostrukturu, aby se zajistila výkonnost konečného produktu. Naproti tomu proces tavení a zpracování kovových terčů je poměrně jednoduchý, s vysokou plasticitou a snadným tvarováním a zpracováním.
Z hlediska nákladů jsou kovové terče obvykle levnější než keramické terče z důvodu relativně jednoduchého procesu extrakce, zpracování a přípravy kovu. Příprava keramických terčů však vyžaduje složitější proces
2. Fyzikální a chemické vlastnosti
Vzhledem ke své jedinečné chemické struktuře mají keramické terče obvykle vyšší tvrdost a bod tání, díky čemuž jsou stabilnější při vysokých teplotách a jsou vhodné pro procesy nanášení filmů při vysokých teplotách. Zejména v aplikacích s vysokou teplotou nebo korozivním prostředím. Nereagují snadno s jinými prvky, zachovávají čistotu a stabilitu materiálu.
Kovové terče jsou vhodné pro různé složité požadavky na přípravu tvaru, zejména pokud jde o tepelnou a elektrickou vodivost daleko lepší než keramické terče, což je činí preferovanými v aplikacích vyžadujících dobré tepelné řízení a elektrické vlastnosti. Za určitých podmínek však může oxidovat nebo korodovat.
3. Oblast použití
Kovové terče jsou široce používány v situacích, kdy je vyžadována dobrá vodivost a tepelná vodivost, jako je příprava vodivých filmů, zrcadlových reflexních filmů a výroba magnetických materiálů. Jejich vynikající plasticita jim dává výhodu také při výrobě tvarově složitých terčů.
Keramické terče mají díky své vysoké čistotě, chemické stabilitě a vysoké teplotě tání jedinečné aplikace při výrobě polovodičů, vysokoteplotní depozici tenkých vrstev a přípravě fotoelektrického materiálu. Tyto aplikace často vyžadují materiály s extrémně vysokými výkonnostními standardy.
