Cílové rozprašování, jako základní technologie povrchového inženýrství a technologie tenkých vrstev, se týká použití iontů nebo jiných nabitých částic k zasažení cíle ve vysokoenergetickém stavu, čímž se spustí přenos kinetické energie a transport materiálu atomů nebo molekul cíle. . Excitované atomy nebo molekuly se odtrhnou od cílového povrchu a ukládají se na substrát ve vysokorychlostním pohybu, čímž se vytvoří tenký film s jednotnou nebo specifickou strukturou.
1. Klasifikace
(1) DC naprašování
Princip: Stejnosměrné naprašování využívá jako zdroj energie konstantní stejnosměrný zdroj energie a je vhodné především pro cíle s dobrou vodivostí, jako jsou kovy.
Vlastnosti: Má výhody jednoduchého vybavení, snadné obsluhy a vysoké rychlosti nanášení. To se nevztahuje na izolační materiály, protože nemohou zajistit efektivní transport náboje.
(2) Radiofrekvenční naprašování
Princip: Radiofrekvenční naprašování využívá vysokofrekvenční výkon (obvykle v rozsahu MHz), takže mohou být naprašovány i nevodivé materiály (jako je keramika, oxidy).
Vlastnosti: Schopnost naprašovat izolační materiály s vyšší rovnoměrností nanášení. Vzhledem ke složitému napájecímu a řídicímu systému jsou však náklady a obtížnost údržby poměrně vysoké.
(3) Magnetronové naprašování
Princip: Na základě tradičního naprašování je magnetické pole generováno umístěním magnetů blízko cíle, čímž se zvyšuje hustota a stabilita plazmatu.
Vlastnosti: Zlepšená účinnost naprašování a kvalita filmu, snížená cílová spotřeba. Může pracovat při nižším tlaku vzduchu, čímž se snižuje dopad částic plynu na fólii.
(4) Reaktivní naprašování
Princip: Během procesu naprašování jsou do pracovní atmosféry zaváděny reaktivní plyny (jako je kyslík, dusík), aby chemicky reagovaly s cílovými atomy a vytvořily složený film.
Vlastnosti: Lze připravit různé složené filmy, jako jsou oxidy, nitridy, karbidy atd. Řízení je však komplikované a vyžaduje přesné nastavení průtoku a tlaku reaktivního plynu.
(5) Pulzní magnetronové naprašování s vysokým výkonem
Princip: Použijte vysoce výkonný pulzní zdroj pro generování vysokohustotního plazmatu po krátkou dobu, abyste zvýšili rychlost rozprašování.
Vlastnosti: Lze získat hladší a hustší filmy. Ale kvůli vysoké spotřebě energie se řízení teploty a odolnost zařízení stávají výzvou.
2.Aplikace
(1) Polovodičový průmysl
Technologie naprašování se používá k nanášení vodivých, izolačních a stínících vrstev, které jsou zásadní pro výrobu vysoce výkonných integrovaných obvodů a mikroelektronických zařízení.
(2) Optické aplikace
Zrcadla a antireflexní povlaky: Tenké filmy připravené technikou naprašování lze použít k výrobě různých optických součástí, jako jsou čočky, čočky a zrcadla v laserových systémech. Vrstva pohlcující světlo a vodivá vrstva v solárních článcích se také často připravují naprašováním.
(3) Dekorativní nátěr
Automobilový průmysl a stavebnictví: Naprašované fólie se používají pro dekorativní nátěry na automobilové díly a stavební materiály, poskytují nejen estetický vzhled, ale také zvyšují odolnost materiálu proti opotřebení a korozi. Kryty a ozdobné části spotřební elektroniky, jako jsou mobilní telefony a počítače, také často používají technologii naprašování k potažení odolných a krásných filmů.
(4) Speciální funkční fólie
Může nanášet na povrchy nástrojů a forem filmy s vysokou tvrdostí a odolností proti opotřebení, aby se prodloužila životnost nástroje. Kromě toho lze naprašované fólie použít k nastavení propustnosti světla v technologii inteligentních oken pro budovy a automobily.
(5) Biomedicínský obor
Biokompatibilní filmy jsou obecně nanášeny technikami naprašování, aby se zvýšila kompatibilita umělých kloubů nebo zubních implantátů s lidským tělem.
Společnost FANMETAL může zákazníkům poskytnout různé kovové naprašovací terče, jako jsou titanové hliníkové naprašovací terče, wolframové terče a chromové kovové naprašovací terče atd.
